真空技术　真空计　磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度

Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications,calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges

标准介绍

本文件界定了磁悬浮转子真空计(SRG)[2]-[4]相关的术语，规定了SRG所需参数，详细描述了在使 用这些真空计时的校准步骤和所需不确定度分量。本文件适用的压力上限为2 Pa。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会