真空技术　真空计　皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度

Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications,calibration and measurement uncertainties for Pirani gauges

标准介绍

本文件确立了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。
本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa~150 kPa的皮拉尼真空计。
当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对ISO 3567和ISO 27893的补充。
另外，本文件还描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会