电子气体　卤化物气体

Electronic gas—Halide gas

标准介绍

本文件规定了卤化物气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。
本文件适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体。

提出部门

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会