产品几何技术规范(GPS)　表面结构　区域法　第603部分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture:Areal—Part 603:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments

标准介绍

本文件规定了相移干涉法(PSI)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

提出部门

全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC 240)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会