电子气体　大宗气体

Electronic gas—Bulk gas

标准介绍

本文件规定了大宗气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以空气为原料分离净化,或以工业大宗气体为原料提纯制得的容器包装的大宗气体。

提出部门

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会