电子气体　六氟化硫

Electronic gas—Sulphur hexaflouride

标准介绍

本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了六氟化硫的安全信息。
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。

提出部门

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会