MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device

标准介绍

本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。
本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。

提出部门

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会