真空技术　真空泵性能测量标准方法　第4部分：涡轮分子泵

Vacuum technology—Standard methods for measuring vacuum-pump performance—Part 4:Turbomolecular vacuum pumps

标准介绍

本文件及GB/T 40344.1描述了涡轮分子泵的性能测量方法，适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括：
——带机械轴承或磁轴承的；
——带/不带附加牵引级或其他转子抽气级的；
——带一个或多个进气口的。
由于涡轮分子泵有前级泵支持，体积流率-入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能。同时，涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数。
下列内容用以补充确定其性能参数：
——涡轮分子泵的流量和前级压力；
——压缩比曲线（涡轮分子泵的压缩比-前级压力)。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会