Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy—Description of selected instrumental performance parameters
本文件规定了俄歇电子能谱仪特定性能参数的表述要求。
本文件适用于俄歇电子能谱仪的性能参数表述。
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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