电子特气　磷化氢

Electronic specialty gas—Phosphine

标准介绍

本文件规定了电子级磷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。
本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。

提出部门

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会